氧化铝陶瓷(Al2O3) 氧化锆陶瓷(ZrO2) 可加工陶瓷
氮化铝陶瓷(AlN) 氮化硅陶瓷(Si3N4)
碳化硅(SiC)
主办单位:
中国电子专用设备工业协会
无锡国家高新技术开发区管理委员会
无锡市新吴区人民政府
承办单位:
中国电子专用设备工业协会半导体设备分会
协办单位:
北方华创科技集团股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
上海熙儋宸旭半导体科技有限公司
材料
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