东莞诺一碳化硅陶瓷托盘主要特征：
1、高硬度；
2、耐磨；
3、高导热性；
4、高温下机械性能稳定；
5、耐化学腐蚀。
碳化硅陶瓷托盘介绍如下。
产品特点：碳化硅陶瓷托盘采用高纯无压烧结碳化硅陶瓷材料，具有高硬度、耐磨、高导热性、高温下机械性能稳定、耐腐蚀等优点，并且产品精度高、晶圆外延层刻蚀均匀性好。
应用领域：碳化硅陶瓷托盘广泛应用在LED 晶圆芯片的外延层薄膜材料（GaN、SiO2 等）的ICP 刻蚀制程、半导体扩散用精密陶瓷零件及半导体晶圆的MOCVD 外延制程。
规格型号：我司具备多年碳化硅陶瓷托盘生产经验，有相关案例可供参考，并且我们可以根据您的要求定制生产，详情欢迎致电：138-2696-4454（张先生）
