“精度”是光刻机“卡脖子”的关键吗?先来认识“多层压电驱动器”吧!

作者:东莞市诺一精密陶瓷科技有限公司 日期:2023-05-11 阅读量:

2018年,美国18岁高中生Sam Zeloof在自家车库中造出了第一个光刻“自制”(homemade)微芯片。自制的意思是,在他车库里包括光刻机在内的几乎所有设备,都是Zeloof网购和亲手改良的。而他的所谓光刻机其实就只是把一个投影仪改装后安装在显微镜上而已。


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以上的故事说明,光刻机的原理和制造并不难,它“卡脖子”的关键其实在于精度(误差)——对光掩模和半导体基板的位置和姿态进行高精度的控制才能实现芯片设计、图案重复的要求;才能减少误差和重复,从而满足制造成本和效率要求。“多层压电驱动器”作为一种利用压电材料产生的机械应力来驱动某些系统的装置,它能实现精确位移控制,是光刻机、套刻量测设备等集成电路装备的关键元器件,对集成电路装备的精度有着重要的影响。

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