半导体前道设备零部件的种类众多，而且有很多是特定领域的专用品，根本不可能完全统计清楚。所以我暂时只能把一部分比较常规的类型先罗列出来，供大家参考。
半导体前道设备部件分类包括：光学系统、真空系统、气路系统、液路系统、温控系统、运动系统、功能部件、材料部件、电器电源系统、泵类等，具体如下：
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