剑指半导体材料“卡脖子”问题,张汝京再战嘉兴光掩模版厂项目

作者:诺一精密陶瓷 日期:2022-08-25 阅读量:

8月19日上午,嘉兴南湖政府网站披露,张汝京博士作为项目领衔人及其团队等出席总投资30亿元的光罩材料产业链项目签约仪式。


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签约仪式上,项目负责人张汝京博士为大家介绍了关于光罩的“知识点”。据介绍,光罩也称为光掩模版,在IC制造过程中,其作用是将设计好的电路进行显影,将图形投影在晶圆上,利用光刻技术进行蚀刻,是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。


据悉,该项目总投资30亿元,首期投资11亿元,将落户于南湖高新区集成电路产业园,主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造,产品包括高平整度石英基板、镀膜基板(含二元及相位移的)、保护膜等原材料。项目计划于今年9月启动,2023年4月第一条生产线试生产,2024年1月正式投产,2026年1月达产,财务机构预估达产后年产值不低于10亿元,年税收不低于1.1亿元。


据介绍,嘉兴科技城(南湖高新区)第一大主导产业便是微电子产业,近年来,嘉兴科技城(南湖高新区)聚焦半导体关键原材料、半导体器件、智能终端应用三个领域打造国内领先、特色鲜明的微电子产业,目前已集聚微电子产业200多家,去年工业总产值达370亿元。


光掩模版介绍

光掩膜版一般也称光罩、掩膜版,在半导体制程过程是非常关键的一环,可以想像为在半导体、液晶显示器在制造过程中,转移电路图形“底片”的高精密工具。


光掩模主要是将电脑所设计的半导体设计回路图,通过光刻制版工艺,将芯片客户所需要的微米和纳米级的精细图案制成掩模版,是电路图写在半导体晶圆之前,最先被呈现的半导体零件,这原理就好像是利用底片洗出数千张的照片,通过光掩模,也能在众多的晶圆上写出半导体回路。再者,光掩模的细致度和准确度,也直接关系着半导体芯片的品质。


国内外光掩模厂几何

全球光掩模(photomask)市场一年市场规模约 35 亿~40 亿美元上下。全球半导体光罩市场中,65%的市场份额由晶圆厂自有光罩厂占据,剩余35%的份额则被独立第三方光罩厂所瓜分。主要供应商以美日大厂为主,其中日本凸版印刷、大日本印刷、美国 Photronics 三家就占了 80% 以上的市占率,其他还有日本豪雅 HOYA、日本 SK 电子、台湾光罩等。


2019年中国半导体光罩市场规模约1.4亿美元,2021年中国半导体光罩市场规模约2.0亿美元。国内规模型光罩企业主要分为两类:一是晶圆厂自建工厂,包括中芯国际的光罩厂,华润微电子的光罩厂(无锡迪思微电子)等;二是独立光罩企业,包括中微掩膜、清溢光电和路维光电等。


除了独立运营的光掩模厂,像是台积电、三星、英特尔等大型半导体厂内部也有自己的光掩模部门。有些半导体厂的策略是高端工艺技术采用自己的光掩模技术,成熟工艺技术会委外释单给其他的光掩模厂生产。

以台积电为例,以往光掩模多是自给自足。因此,通常在台积电下单的 IC 设计公司基于确保制程、良率稳定,也都会以台积电的光掩模部门为合作对象。


不过,近几年的芯片热潮下,台积电因为接单持续满载,开始出现内部光掩模产能不足的状况。因此,台积电也开始扩大使用外部的光掩模产能,进而使得全球光掩模产能都呈现满载。


关键“卡脖子”材料

随着半导体产业的迅速发展,光罩作为芯片的关键原材料,市场需求不断上升。目前,光罩材料部分产品完全依赖进口,尤其是光罩保护膜,目前仅有海外少数几家厂商有能力生产,国内该方面技术仍为空白。本项目旨在成为国内光罩上游材料龙头,解决国内半导体材料“卡脖子”问题。


光刻设备、材料作为我国半导体制造业中的短板,制约着晶圆制造业的发展,作为先进制程以及成熟制程的关键环节,光刻技术是摩尔定律不断突破的重要保证,发展掩模版技术,对补齐产业链短板有重要作用。


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